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深圳市夢啟半導(dǎo)體裝備有限公司

單面CMP拋光機

型號:DL-855/4P

該設(shè)備為單面平面化學(xué)拋光,采用先進的機械結(jié)構(gòu)和多種先進控制方法,拋光加工效率高,運行穩(wěn)定。

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單面CMP拋光機
設(shè)備優(yōu)勢

> 本設(shè)備為單面精密拋光設(shè)備,采用先進的機械結(jié)構(gòu)和多種先進控制方法,拋光加工效率高,運行穩(wěn)定


> 整機采用PLC+觸摸屏控制系統(tǒng),設(shè)備參數(shù)設(shè)置和操作簡單方便,系統(tǒng)運行穩(wěn)定性高


> 主電機采用變頻調(diào)速控制,實現(xiàn)主機軟啟動、軟停機降低設(shè)備運行沖擊,減少工件損傷


> 工件拋光壓力采用氣缸加壓方式,通過電氣比例閥控制實現(xiàn)壓力的閉環(huán)控制,保證極高的施壓精度與穩(wěn)定性


> 上壓盤采用主動驅(qū)動方式,在確保產(chǎn)品撤光速率的前提下保證各工位拋光加工的統(tǒng)一性


> 拋光盤與上壓盤都設(shè)置了冷卻水冷卻功能,在保證拋光液發(fā)揮最大效率的同時減少拋光盤面的變形

性能參數(shù)

CMP拋光機參數(shù)_畫板 1.jpg

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