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深圳市夢啟半導體裝備有限公司

晶圓拋光機廠家
晶圓拋光機廠家

夢啟半導體裝備玻璃研磨解決方案

瀏覽量 :
發布時間 : 2026-08-24 09:21:01

夢啟半導體團隊擁有半導體大廠(世界500強)工作經歷、20年以上半導體封測經驗、專攻削磨拋設備技術/工藝多年,為國內外眾多行業提供研磨解決方案,玻璃研磨是其中之一。

 

一、玻璃研磨

主要為光學玻璃、石英玻璃、視窗防護玻璃、后蓋玻璃等產品提供精密研磨設備和服務。

內頁圖.jpg


 1. 去除損傷層

前道銑磨 / 粗磨會在玻璃表面產生微裂紋和亞表面損傷層(深度可達幾十微米),研磨的首要目的就是去除這層損傷,避免后續拋光后缺陷暴露。

 

 2. 保證面形精度

通過研磨將工件加工到接近設計的曲率半徑面形精度PV/RMS)和尺寸公差,為拋光工序奠定形狀基礎。拋光去除量很小(通常僅微米級),面形主要靠研磨保證。

 

3. 降低表面粗糙度

將粗磨后的粗糙表面(Ra 通常數微米)加工到亞微米級粗糙度,使表面均勻細膩,減少拋光時間和拋光面形畸變風險。

 

 4. 消除表面缺陷

去除劃痕、麻點、崩邊、燒傷等宏觀缺陷,獲得均勻一致的加工表面。

 

5. 改善表面一致性

批量加工中保證各鏡片之間面形、厚度、曲率的一致性,便于后續鍍膜和裝配。

 

一、解決方案

夢啟半導體為客戶提供一站式解決方案,助力精品打造。客戶可根據實際需求,選擇常規方案,或根據實際情況、特殊工藝需求,定制方案。

 

1. 全自動雙工位減薄研磨機

核心特點:全自動高精密,多工位同步運行,產出高效優質,采用

自主產權靜壓氣浮磨削主軸

工件尺寸:可進行4(40μm)~12(80μm)超薄工件加工,兼

容Φ100~300mm工件磨削減薄加工

適用場景:玻璃、太陽能電池片、LED芯片、硅片、藍寶石片、砷化鎵、氮

化鎵、鉭酸鋰、鈮酸鋰等硬脆材料的粗磨、精磨


2. 全自動雙工位倒角機

核心特點:全自動高精密,雙工位同步運行,產出高效優質,自主

研發磨削主軸、承片主軸、視覺定位和測厚系統

工件尺寸:可進行Φ4"、Φ6"、Φ8"、Φ12",0.4mm-1.5mm厚的工件雙面倒角加工

適用場景:玻璃、太陽能電池片、LED芯片、硅片、藍寶石片、砷化、氮

化鎵、鉭酸鋰、鈮酸鋰等硬脆材料的邊角研磨


3. 拋光機

主要應用于化合物半導體行業、硅基領域。如:玻璃、硅片、藍寶石、碳化硅、金剛石、砷化鎵、氮化鎵鉭酸鋰、鈮酸鋰等硬脆材料的表面拋光

(1)銅拋機

(2)CMP軟拋機



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